氯硅烷残液采用氮气将其压成雾状进入残液淋洗塔，与塔内对流的淋洗液反应生成Na2SiO3，SiO2，NaCl。采用机械刮泥机将淋洗产生的浮渣（Na2SiO3、 SiO2等）进行打捞至机械搅拌池内，通过搅拌机不断旋转防止浮渣沉淀堵塞系统，再通过渣浆泵输送至压滤机进行脱水。最终实现氯硅烷残液的无害化处理，处理后达到《大气污染综合排放标准》GB16297-1996的二级标准。